在真空磁控濺射鍍膜技術中的等離子體，一般是電場作用下通過工作氣體放電形成的。構成分子的原子獲得很大的的動能，開始彼此分離，原子的外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，失去電子的原子變成正離子，這一過程叫電離。
　　等離子體是一種電離氣體，是離子、電子和高能原子等的集合體；正離子和電子總是成對的出現，總數大致相等，整體呈準電中性，它是一種由帶電粒子組成的電離狀態，稱為物質的第四態-等離子態。
　　對氣體放電形成等離子體施加電壓或電場，伴隨導電離子、粒子、電子等的移動，在等離子體中會流過電流，這就是等離子體的導電性。
　　在氣相沉積過程中，工作氣體和靶材金屬原子被高能電子撞擊電離為由電子、氣體離子和金屬離子等導電粒子組成的等離子體。
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